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東莞市揖電真空機(jī)電專業(yè)GXS450愛德華螺桿泵維修，愛德華GXS450螺桿泵在（顆粒，腐蝕物）環(huán)境下有著高可靠性，例如PECVD，LPCVD中。IH600工作在大氣壓和極限壓力之間，無需潤(rùn)滑，這樣就確保了油不會(huì)被反抽到系統(tǒng)中。IH600系統(tǒng)有一個(gè)HCDP80干泵；HCMB-600干泵。IH600系統(tǒng)適用于無風(fēng)冷電機(jī)的潔凈環(huán)境中。IH600干泵系統(tǒng)還擁有運(yùn)送清潔氣體進(jìn)入HCDP泵的氣體系統(tǒng)，適用于制程物嚴(yán)重的工藝中。使用在較低要求的工藝下可共同改變氣體排放模式改變N2消耗量。通過顯示終端可手動(dòng)控制真空系統(tǒng)。另外，可以通過接口模塊或即時(shí)通訊模塊或IH單設(shè)備監(jiān)控器使用其他控制設(shè)備去操作IH干泵系統(tǒng)。 半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用包括： LOADLOC 傳送 測(cè)量 光刻 物理氣相沉積工藝 物理氣相沉積預(yù)清潔 快速熱退火 去膠 蝕刻 高密度等離子化學(xué)氣相沉積 高密度等離子體化學(xué)氣相沉積快速熱處理 大氣化學(xué)氣相沉積sacvd 鎢化學(xué)氣相沉積等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 低壓化學(xué)氣相淀積。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔到中等負(fù)載制程。 模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對(duì) GX1000N干泵進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。 超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠(yuǎn)程在內(nèi)的多種安裝選項(xiàng)。
GXS450愛德華螺桿泵維修功能及優(yōu)勢(shì)：低運(yùn)行成本與 iL/iH 干泵相比，設(shè)施成本最多可降低 50%，無需預(yù)防性維護(hù)，靈活的安裝選項(xiàng)小巧輕便，便于安裝，工具上近程或遠(yuǎn)程可以改進(jìn)工具吞吐量。
可用的快的負(fù)載鎖定泵全程一致的泵送性能，在 50 和 60 Hz 下抽速相同，降低了環(huán)境噪音僅 55 dB(A)。
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